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       1.從工作原理上看光刻機(jī)和蝕刻機(jī)。如果把制造芯片比喻成蓋房子，那么光刻機(jī)的作用就是把房子的結(jié)構(gòu)標(biāo)注在地上。刻蝕機(jī)就是在光刻完成以后才登場(chǎng)的設(shè)備，也是光刻完成以后為重要的設(shè)備之一。刻蝕機(jī)主要的作用就是按照光刻機(jī)已經(jīng)標(biāo)注好的線去做基礎(chǔ)建設(shè)，把不需要的地方給清除掉，只留下光刻過(guò)程中標(biāo)注好的線路。

       2.結(jié)構(gòu)對(duì)比從結(jié)構(gòu)上來(lái)看光刻機(jī)和蝕刻機(jī)。光刻機(jī)的主要的核心技術(shù)就是光源和光路，其光源和光路的主要組成部分有四個(gè)，光源、曝光、檢測(cè)、和其他高精密機(jī)械組成。對(duì)比之下，蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)組成就要簡(jiǎn)單很多，主要是等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成。

蝕刻機(jī)的工作內(nèi)容

       蝕刻機(jī)主要由等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成，主要的作用：光刻機(jī)把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上后，利用蝕刻機(jī)把不需要的地方給清除掉，只留下光刻過(guò)程中標(biāo)注好的線路、圖形等。

       因此，在芯片制造環(huán)節(jié)中，光刻機(jī)完成了本身工作，就需要由蝕刻機(jī)來(lái)二次加工，形成一個(gè)完成的芯片制造工藝鏈。可以說(shuō)，蝕刻機(jī)是光刻之后必不可少的設(shè)備，也是輔助光刻機(jī)工作的重要環(huán)節(jié)。