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OLED 蒸發(fā)過(guò)程中的核心消耗品

FMM（高精度金屬掩模）是中小型 OLED 面板蒸發(fā)工藝中的關(guān)鍵消耗品，直接決定了屏幕分辨率和生產(chǎn)良率。其核心材料是超級(jí)Invar合金，長(zhǎng)期以來(lái)一直被日本和韓國(guó)企業(yè)所壟斷。目前，國(guó)內(nèi)企業(yè)已實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破并開(kāi)始大規(guī)模生產(chǎn)。2025 年 10 月，中領(lǐng)科技在其生產(chǎn)線完成了中國(guó)首臺(tái) G8.6 代 FMM 曝光機(jī)的安裝，實(shí)現(xiàn)了高世代產(chǎn)品制造設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的突破。

國(guó)內(nèi)的 FMM 公司繼續(xù)推進(jìn)產(chǎn)能提升工作。黃石全洋光電科技有限公司成為國(guó)內(nèi)第1家實(shí)現(xiàn) 6 代金屬掩膜大規(guī)模量產(chǎn)的公司。寰采星科技完成了 8.6 代 OLED 的 FMM 試量產(chǎn)，并且眾凌科技成為國(guó)內(nèi)第1家向 G6 面板制造商交付大規(guī)模量產(chǎn) FMM 的公司。南京高光實(shí)現(xiàn)了 2025 年 8 月首條 G8.6 代 CMM + FMM 產(chǎn)品的下線生產(chǎn)，產(chǎn)品孔徑精度在±2.5 微米以內(nèi)。魯維光電在 2025 年啟動(dòng)了擴(kuò)張計(jì)劃，以提高高精度光掩模的本地化水平，并于 2026 年 1 月計(jì)劃通過(guò)定向增發(fā)不超過(guò) 13.8 億元的資金用于建設(shè)廈門高世代高精度光掩模生產(chǎn)基地的第1階段項(xiàng)目。眾凌科技完成了超過(guò) 4 億元的 C 輪融資，資金將用于 G8.6 代產(chǎn)能擴(kuò)張和海外市場(chǎng)的拓展。

日本顯示器公司（JDI）開(kāi)發(fā)了“eLeap”技術(shù)，旨在突破 FMM 的局限性，但該技術(shù)尚未得到廣泛采用。全球 OLED 面板市場(chǎng)大致分為兩條主要技術(shù)路線，即 8.6 英寸生產(chǎn)線上的傳統(tǒng) FMM 技術(shù)和無(wú) FMM 技術(shù)。三星顯示器和京東方采用 FMM 技術(shù)路線，計(jì)劃在 2026 年實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。

中文名稱：高精度金屬掩模

應(yīng)用領(lǐng)域：OLED 面板制造

材料類型：金屬或金屬與樹(shù)脂的混合物

主要制造商：DNP、眾凌科技、寰采星科技

國(guó)內(nèi)創(chuàng)新成果：眾凌科技、寰采星科技

市場(chǎng)需求：預(yù)計(jì)到 2030 年將達(dá)到 128.2 億元人民幣

技術(shù)挑戰(zhàn)：材料變形控制

FMM是OLED蒸發(fā)工藝中的核心消耗性組件，其制造技術(shù)具有極高的進(jìn)入壁壘。早期，全球 FMM 市場(chǎng)被日本企業(yè)所壟斷，其中 DNP占據(jù)主導(dǎo)地位，曾占據(jù)全球市場(chǎng)超過(guò) 90%的份額。DNP 不僅與三星顯示等面板制造商簽訂了供應(yīng)協(xié)議，還從日本日立金屬公司獲取高端的Invar材料，形成了從原材料到成品的完整產(chǎn)業(yè)鏈壁壘。韓國(guó)和中國(guó)的面板制造商長(zhǎng)期以來(lái)一直依賴進(jìn)口，承擔(dān)著高昂的采購(gòu)成本，并受到外部控制。

為了打破外國(guó)的壟斷局面，并確保國(guó)內(nèi) OLED 產(chǎn)業(yè)鏈的安全，許多中國(guó)企業(yè)從 2019 年起就開(kāi)始進(jìn)行 FMM的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化工作。例如，深圳浚漪科技于 2019 年正式啟動(dòng)了第六代 OLED 高精度金屬掩模的研發(fā)工作。2021 年，浚潁光電（與浚漪科技有關(guān)）宣布實(shí)現(xiàn)了 FMM 的大規(guī)模生產(chǎn)，這標(biāo)志著國(guó)產(chǎn) FMM 從零開(kāi)始取得了重大突破。

從 2023 年到 2024 年，中國(guó)國(guó)內(nèi)的 FMM產(chǎn)業(yè)進(jìn)入了快速發(fā)展階段。國(guó)內(nèi)企業(yè)如寰采星科技和眾凌科技相繼實(shí)現(xiàn)了 G6 代 FMM 的大規(guī)模量產(chǎn)，并成功將其引入國(guó)內(nèi)面板生產(chǎn)線，開(kāi)始打破外國(guó)的壟斷局面。尤其是寰采星科技，在 2023 年實(shí)現(xiàn)了 FMM 的大規(guī)模量產(chǎn)，并將其引入了和輝光電的生產(chǎn)線。

隨著京東方和三星顯示等全球面板巨頭開(kāi)始建設(shè) G8.6 代 AMOLED 生產(chǎn)線，大尺寸、高精度 FMM 的市場(chǎng)需求大幅增長(zhǎng)，從而引發(fā)了新一輪的技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)。為滿足市場(chǎng)需求，日本的 DNP 公司于 2024 年上半年宣布在福岡啟動(dòng)其 G8 代 FMM 生產(chǎn)線。韓國(guó)的豐原精密等公司也在加快其 G8 代 FMM 的大規(guī)模生產(chǎn)計(jì)劃。中國(guó)企業(yè)在 G8.6 代 FMM 的研發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)方面取得了一系列關(guān)鍵突破。2025 年，眾凌科技和山西太鋼精密帶鋼公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)了用于寬幅 FMM 的 Invar 金屬帶材，實(shí)現(xiàn)了大規(guī)模生產(chǎn)，并突破了國(guó)內(nèi)關(guān)鍵上游原材料生產(chǎn)的瓶頸。同年 11 月，寰采星科技完成了中國(guó)首條完整 G8.6 代 FMM 生產(chǎn)線的搬遷，實(shí)現(xiàn)了從 G6 到 G8 代的“跨越”。南京高光也于 2025 年推出了 G8.6 代高精度金屬掩膜產(chǎn)品。

進(jìn)入 2026 年，高世代 FMM 的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程繼續(xù)推進(jìn)，寰采星科技的 G8.6 代 FMM 生產(chǎn)線預(yù)計(jì)將于 2026 年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。下游面板生產(chǎn)線方面，京東方的 G8.6 AMOLED 生產(chǎn)線于 2025 年 12 月成功點(diǎn)亮了其第1款產(chǎn)品，而三星顯示也在 2026 年 1 月開(kāi)始大規(guī)模生產(chǎn)其 G8.6 AMOLED 面板，這直接推動(dòng)了對(duì) G8.6 代 FMM 的明確需求。國(guó)內(nèi)企業(yè)如寰采星科技和眾凌科技正通過(guò)持續(xù)的產(chǎn)能擴(kuò)張和技術(shù)迭代努力在未來(lái)的全球市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中占據(jù)更重要的地位。

技術(shù)原理：FMM 是 OLED 蒸鍍過(guò)程中的核心精密模具。其作用是通過(guò)數(shù)以萬(wàn)計(jì)的 20 微米至 30 微米的細(xì)小孔隙幫助 OLED 有機(jī)材料沉積，從而形成顯示像素。FMM 的結(jié)構(gòu)精細(xì)度直接決定了 AMOLED 面板的像素密度（PPI）。

光纖金屬微管的核心原材料是Invar合金（通常為Invar36 號(hào)合金），這種合金的熱膨脹系數(shù)極低。其厚度通常為 20 至 30 微米，有時(shí)甚至薄至 18 微米。

FMM的主要制造工藝包括蝕刻、電鑄和多材料復(fù)合工藝。蝕刻主要針對(duì)的是鎳鉻合金板進(jìn)行蝕刻；日本的代表制造商有 DNP 和 TOPPAN。電鑄能生產(chǎn)出更薄的 FMM；日本的代表制造商有 Athene 和 Hitachi Maxell。多材料復(fù)合工藝主要采用樹(shù)脂和金屬材料的混合物來(lái)應(yīng)對(duì)熱膨脹問(wèn)題。

從FMM的形狀角度來(lái)看，它們可以分為槽型和狹縫型。一個(gè)縫隙金屬膜主要由五個(gè)部分組成：框架、蓋板、支撐件、對(duì)齊桿和細(xì)桿；其制造工藝被稱為網(wǎng)狀制造。

FMM 生產(chǎn)面臨著極其高的技術(shù)壁壘。孔徑精度必須控制在微米級(jí)別，例如±2.5 微米。對(duì)于較大的尺寸，由于重力和熱應(yīng)力引起的變形（蠕變）而存在挑戰(zhàn)。對(duì)原材料的純度和均勻性也有嚴(yán)格要求。用于硅基 OLED（OLEDoS）的 FMM 技術(shù)要求更高，需要通過(guò)電鑄等方法在硅基板上進(jìn)行制造，以實(shí)現(xiàn)數(shù)千個(gè) PPI 的像素密度。

未來(lái)趨勢(shì)

隨著面板生產(chǎn)線向 G8.6 及更高規(guī)格發(fā)展，F(xiàn)MM尺寸也隨之增大。在制造和使用過(guò)程中，由于重力、壓力和磁應(yīng)力等因素導(dǎo)致的蠕變、彎曲和下垂等問(wèn)題愈發(fā)明顯。變形控制成為了大規(guī)模生產(chǎn)中的一個(gè)重大挑戰(zhàn)。與此同時(shí)，在高溫環(huán)境下對(duì)孔徑精度、材料均勻性和形狀穩(wěn)定性的要求也在不斷提高。

高端的Invar合金（尤其是厚度低于 50 微米的產(chǎn)品）長(zhǎng)期以來(lái)一直由日立金屬公司壟斷供應(yīng)給 DNP 公司，這嚴(yán)重阻礙了中國(guó)FMM產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。盡管像中領(lǐng)科技這樣的國(guó)內(nèi)企業(yè)與太原鋼鐵集團(tuán)合作，在國(guó)產(chǎn)Invar材料（寬度 400 毫米，厚度 25 微米）的量產(chǎn)方面取得了突破，但在綜合規(guī)格覆蓋范圍（例如 15 微米級(jí)別）和穩(wěn)定量產(chǎn)方面，它們?nèi)月浜笥趪?guó)際先進(jìn)水平。

2022 年，日本的 JDI 開(kāi)發(fā)了“eLeap”技術(shù)，該技術(shù)采用無(wú)掩模沉積和光刻工藝，無(wú)需 FMM 即可制造 OLED，將像素密度提高到 800ppi。如果這項(xiàng)技術(shù)得到廣泛應(yīng)用，預(yù)計(jì)將解決 FMM 的高成本、長(zhǎng)交貨期和高小訂單要求等痛點(diǎn)，從而可能減少對(duì) FMM 的需求。此外，印刷 OLED 技術(shù)還繞過(guò)了蒸發(fā)設(shè)備和 FMM，具有高材料利用率和低成本等優(yōu)勢(shì)，使其成為另一種重要的替代技術(shù)。

FMM 產(chǎn)品將朝著更薄（例如 15 微米）、更精細(xì)（更高的像素密度，例如大于 550ppi）、更寬和更長(zhǎng)的方向發(fā)展（適用于大尺寸面板，如 G8.6）。例如，寰采星科技展示了世界上長(zhǎng)的 G8.6 代 FMM 樣品，長(zhǎng)度為 1.7 米，寬處為 480 毫米。隨著三星顯示和京東方等主要面板制造商投資 G8.6 代 AMOLED 生產(chǎn)線，對(duì) FMM 的需求將持續(xù)增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)到 2030 年全球市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到 128.2 億元。市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局正從日本 DNP 的壟斷轉(zhuǎn)向多元化，中國(guó)（例如寰采星科技、眾凌科技）和韓國(guó)（例如豐原精密）等公司的崛起推動(dòng)了這一轉(zhuǎn)變。中國(guó)的 FMM 行業(yè)正從“國(guó)內(nèi)生產(chǎn)突破”轉(zhuǎn)向“提高良率、擴(kuò)大產(chǎn)能并進(jìn)入全球市場(chǎng)”。國(guó)內(nèi)公司如寰采星科技和眾凌科技已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了 G8.6 代 FMM 的試生產(chǎn)或整線搬遷，并正在積極規(guī)劃新的產(chǎn)能以滿足下游高世代生產(chǎn)線的需求。

上述文章引用了來(lái)自百度百科的相關(guān)資料：FMM_百度百科

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