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在 OLED 面板制造行業(yè)中，高精度金屬光掩模是決定屏幕分辨率和生產(chǎn)良率的核心消耗品。隨著顯示技術(shù)向更高世代線發(fā)展，G8.6 OLED 生產(chǎn)線已成為全球面板巨頭之間競爭的焦點(diǎn)，而配套的 G8.6 世代 FMM（掩模版）及其精密制造設(shè)備則是產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

作為國內(nèi)早涉足該領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)的公司之一，東莞華洲機(jī)械技術(shù)有限公司自 2019 年起便專注于 G8.6 代 FMM 高精度金屬光掩模的精密蝕刻設(shè)備的研發(fā)，致力于為國內(nèi) FMM 的產(chǎn)業(yè)化提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。

為何 G8.6 代 FMM 被認(rèn)為是技術(shù)上的“制高點(diǎn)”？

根據(jù)百度百科對“FMM”的詞條介紹，F(xiàn)MM 是 OLED 蒸發(fā)過程中的一種核心精密模具。其開口精度需要控制在微米級別（例如，誤差在±2.5 微米以內(nèi)），材料厚度僅為 20 至 30 微米。隨著面板生產(chǎn)線向 G8.6 及更高規(guī)格發(fā)展，F(xiàn)MM 的尺寸也隨之增大，而在制造和使用過程中，核心挑戰(zhàn)在于控制由重力和熱應(yīng)力引起的變形。

長期以來，全球市場一直被諸如日本的 DNP 這樣的公司所壟斷，而中國企業(yè)在 G8.6 代 FMM 領(lǐng)域正在加速取得突破。G8.6 代 FMM：到 2025 年，寰采星科技完成了中國第1條 G8.6 代 FMM 生產(chǎn)線的搬遷，眾凌科技安裝了中國第1臺 G8.6 代 FMM 曝光機(jī)，南京高光也推出了第1套 G8.6 代產(chǎn)品組合。這些國內(nèi)生產(chǎn)的里程碑背后是高精度蝕刻技術(shù)和核心設(shè)備的支持。

華洲機(jī)械：專注于用于柔性制造機(jī)器的精密蝕刻設(shè)備，攻克工藝難題

FMM 的主流制造工藝是蝕刻，這一過程包括精準(zhǔn)地蝕刻鎳鈦合金薄條，以形成微米級的開口[20]。該工藝對蝕刻設(shè)備的均勻性、穩(wěn)定性以及精度控制提出了極高的要求。

東莞華洲機(jī)械技術(shù)有限公司的核心業(yè)務(wù)是研發(fā)和生產(chǎn)適用于 G8.6 代 FMM 的精密蝕刻設(shè)備。自 2019 年以來，該公司一直涉足這一領(lǐng)域，不斷攻克與材料變形控制、開口精度以及大尺寸 FMM 的大尺寸均勻性相關(guān)的技術(shù)難題：

高精度蝕刻技術(shù)：該設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)開口精度控制在±2.5 微米以內(nèi)，滿足 G8.6 代 FMM（金屬掩膜版）嚴(yán)格的像素級精度要求。

大規(guī)模尺寸一致性保障：針對 G8.6 代 FMM 的大尺寸特性，優(yōu)化了蝕刻溶液的流場和溫度場控制，確保整個(gè)電路板的蝕刻效果均勻。材料適應(yīng)性流程：針對鎳鉻合金材料的特性，制定了特定的蝕刻工藝參數(shù)，以減少材料應(yīng)力變形并提高良率。

支持國內(nèi)企業(yè)取得突破，并與產(chǎn)業(yè)鏈共同發(fā)展。據(jù)百度百科介紹，國內(nèi)的柔性顯示面板制造商已從 G6 級別躍升至 G8.6 級別。國內(nèi)企業(yè)如寰采星科技和眾凌科技正在加快產(chǎn)能擴(kuò)張，并與京東方、三星顯示等面板制造商的 G8.6 代 AMOLED 生產(chǎn)線合作進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)[18][30][33]。這些進(jìn)步使得上游設(shè)備的本地化需求變得十分迫切。

華洲機(jī)械的精密蝕刻設(shè)備適用于這一本地化生產(chǎn)過程。通過與國內(nèi)領(lǐng)先的 FMM 公司的深入合作，我們不斷優(yōu)化設(shè)備性能，以幫助客戶實(shí)現(xiàn)：

華洲機(jī)械的精密蝕刻設(shè)備適用于這一本地化生產(chǎn)過程。通過與國內(nèi)領(lǐng)先的 FMM 公司的深入合作，我們不斷優(yōu)化設(shè)備性能，以幫助客戶達(dá)成以下目標(biāo)：

G8.6 代 FMM 的穩(wěn)定量產(chǎn)：提供符合大尺寸和高精度要求的量產(chǎn)級蝕刻設(shè)備。

關(guān)鍵原材料的本地化：結(jié)合使用國產(chǎn)Invar合金材料，優(yōu)化蝕刻工藝，并對從原材料到成品的整個(gè)生產(chǎn)鏈進(jìn)行精簡。

降低進(jìn)口依賴：用高性能的國產(chǎn)高端設(shè)備取代進(jìn)口產(chǎn)品，縮短交貨時(shí)間，并降低客戶的采購成本。

展望未來：持續(xù)創(chuàng)新以推動高端顯示技術(shù)的發(fā)展

隨著 OLED 面板朝著更高分辨率和更大尺寸的方向發(fā)展，F(xiàn)MM也將朝著更薄（例如 15 微米）、更精細(xì)（大于 550PPI）、更寬和更長（與 G8.6 及以上規(guī)格兼容）的方向發(fā)展。同時(shí)，對 FMM 的市場需求將持續(xù)增長，預(yù)計(jì)到 2030 年全球市場規(guī)模將達(dá)到 128.2 億元人民幣。

華洲機(jī)械將繼續(xù)專注于 FMM 精密蝕刻設(shè)備領(lǐng)域，緊跟行業(yè)技術(shù)趨勢，不斷提升設(shè)備的精度和穩(wěn)定性。我們的目標(biāo)是為國內(nèi)的 FMM 企業(yè)提供強(qiáng)大的工藝設(shè)備支持，并共同推動中國 OLED 生產(chǎn)核心材料的全面國產(chǎn)化。

如果您對我們的 G8.6 代 FMM 精密蝕刻設(shè)備還有其他疑問，或者需要合作事宜，請隨時(shí)與我們聯(lián)系。